В данном учебном пособии подробно рассмотрены особенности взаимодействия световых потоков с полупроводниковыми структурами. Кроме того, в нем подробно изложены процессы обработки, отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, а также отжига и легирования полупроводниковых структур. Особое внимание уделено формированию контактно-металлизационной системы и планаризации. Не обошлись без внимания и получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие призвано служить незаменимым ресурсом для подготовки магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника. Благодаря курсу «Лучевые процессы нанотехнологии», студенты получат всесторонние знания о новейших методах и технологиях в области нанотехнологий, а также смогут применить свои знания на практике.
Учебное пособие призвано служить незаменимым ресурсом для подготовки магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника. Благодаря курсу «Лучевые процессы нанотехнологии», студенты получат всесторонние знания о новейших методах и технологиях в области нанотехнологий, а также смогут применить свои знания на практике.
65 страниц